MQV-Einblicke – „Reiner als rein: Modernste Reinräume für Halbleiter-Hightech“

Das Halbleiterlabor der Max-Planck-Gesellschaft zählt zu den weltweit führenden Forschungseinrichtungen im Bereich der Halbleitertechnologie. Im neuen Gebäude auf dem Forschungscampus Garching steht den Wissenschaftler:innen nun auch ein neuer, 600 Quadratmeter großer Reinraum der dritthöchsten Reinheitsklasse zur Verfügung. Zum Vergleich: Während sich in einem Kubikmeter normaler Raumluft über 35 Millionen Partikel befinden, sind es in diesem Reinraum weniger als 1000.

In bis zu 500 aufeinander abgestimmten Prozessschritten entstehen hier hochentwickelte Halbleiterdetektoren für bahnbrechende wissenschaftliche Experimente – aus Silizium, das rund tausendmal reiner ist als jenes, das in der konventionellen Elektronikindustrie zum Einsatz kommt. Im Rahmen eines neuen Projekts wird dieser Reinraum nun auch genutzt, um supraleitende Quantenbits auf internationalem Spitzenniveau zu entwickeln. Erfahrt bei einem kurzen Vortrag mehr über die hochtechnologisierten Prozesse vor Ort, werft einen Blick auf Exponate und begebt euch auf eine virtuelle Tour durch mehr als 1500 Quadratmeter nagelneuer Labore.